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電子槍是產生、加速和聚焦高能量密度電子束的裝置。它發射具有一定能量、一定射束、一定速度和角度的電子束，又稱電子束。電子槍的應用包括非彈性電子散射和熒光屏。

在電子槍中，燈絲（通常是鎢絲）被電加熱，在表面產生大量熱離子電子。在陽極和陰極之間的高壓電場的作用下，熱電子被加速向陽極高速移動，獲得高動能。具體速度值取決于加速電壓，一般可以達到光速的三分之二左右。在聚焦線圈的作用下，電子束可以被聚焦，在導向線圈（又稱偏轉線圈）的作用下，電子束可以在一定范圍內進行偏轉和掃描。電子槍的工作電壓通常在幾十到幾百千伏之間。為了防止高壓擊穿、電子束散射和能量損失，電子槍的真空度保持在6.67x10-2Pa以上。

電子槍有多種形式。根據電子槍結構的不同，可分為軸向電子槍（直線自加速電子槍）和環形電子槍（靜電場偏轉電子槍）。下面我們就來簡單的看一下。

1、軸向電子槍

陰極發射電子，陽極加速電子。調制電極位于燈絲和陽極之間，用于束電流調制和初始聚焦。聚焦電極進一步聚焦調制電極收集的電子流，以獲得更精細的合適束斑。由于聚焦線圈的應用，線性電子槍可以實現100kW/cm2以上的高能量密度，并且易于控制和調整。因此，大多數使用的高功率電子束應用是軸向電子槍。

2、環形電子槍

該環形電子槍結構簡單，成本低，可以與簡單的電源裝置一起工作。電子槍由環形燈絲、陽極、陰極、聚焦線圈和偏轉線圈組成。環形燈絲處于負高壓并充當熱離子發射源。在聚焦電極的定向反射和陽極的加速作用下，電子束在坩堝蒸發源的中心會聚。當使用環形電子槍時，二次電子從被高能電子束轟擊的材料中發射出來。